Profilometry 指“轮廓测量/表面轮廓测量”，是一种用来测量物体表面形貌（如高度变化、粗糙度、台阶高度、纹理等）的技术与方法，常用于材料、半导体、机械加工与质量检测等领域。（该词也可更广义地指对“轮廓（profile）”进行定量测量。）
/ˌproʊfɪˈlɑːmətri/
The lab used profilometry to measure the roughness of the coated glass.
实验室使用轮廓测量法来测量镀膜玻璃的表面粗糙度。
After the etching step, profilometry revealed a uniform step height across the wafer, confirming the process was stable.
在刻蚀步骤之后，轮廓测量结果显示晶圆整体的台阶高度很均匀，从而证实工艺较为稳定。
Profilometry 由 profile（轮廓、剖面）+ -metry（测量，源自希腊语 metron“度量”）构成，字面意思就是“对轮廓进行测量”。在工程与材料科学语境中，通常特指对表面剖面/形貌的测量技术。
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